강의계획서
교과목코드 | JEB01441 | 교과목명 | 반도체공정 |
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강의학과 | 전자공학과 | 교수 | 김가람 |
교수소속 | 전자공학과 | 이수학년 | 4학년 |
과목구분 | 이론 | 과정구분 | |
이메일 | garamkim@mju.ac.kr | 전화번호 | 031-324-1257 |
주차 | 주제 |
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1주차 | Introduction, Wafer preparation |
2주차 | Oxidation |
3주차 | Diffusion |
4주차 | Ion Implant |
5주차 | Photolithography |
6주차 | Metallization |
7주차 | CMP, Probing, testing |
8주차 | 중간고사 |
9주차 | Vacuum |
10주차 | Plasma |
11주차 | Sputtering |
12주차 | CVD |
13주차 | Etch |
14주차 | Integration |
15주차 | 기말고사 |
16주차 |